半導體設備是較為精密的儀器，搬運前一定要做好搬運方案以及設備防護。
如果搬運入口較小，可向甲方了解設備特性是否可以將半導體設備放倒或拆卸，進入入口后，用龍門架將設備回正。
確認地面高度，如需將設備抬起，盡量使用平臺將半導體設備吊起。
搬運路線鋪好均壓鋼板，防止單點受力將地面壓壞。
確認設備定位位置地面是否加固，防止設備定位好以后將地面壓壞，從而造成設備傾倒或歪斜。
注意事項：
搬運前需確認好半導體設備尺寸以及搬運入口尺寸，搬運距離，如有臺階，需確認臺階高度等各方面數據，做好危險源排查以及應急預案。
半導體設備進入無塵室之前做好無塵處理
搬運過程中如果需要上下臺階，可用平臺將半導體設備吊起，盡量不使用機動叉車。因為半導體設備一般都需要搬入無塵車間內，以免機動叉車排出的廢氣污染車間或設備。
地面保護措施：對半導體設備搬入路線的地面鋪好均壓鋼板，做無塵處理。方便半導體設備的搬入及定位。
搬運方式：所有操作工人均需穿著無塵服作業，作業前做好無塵處理，用氣墊、液壓叉車等工具進行搬運。
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